40GW飛秒激光光束特性研究.pdf

1、在超精細(xì)加工中，激光束質(zhì)量的好壞直接影響到加工的效果，因此，激光束的光束質(zhì)量以及其光束空間光強(qiáng)分布的測(cè)量就至關(guān)重要。 光束質(zhì)量因子M2是衡量激光束光束質(zhì)量的重要參數(shù)。本論文主要對(duì)實(shí)驗(yàn)室的40GW飛秒激光系統(tǒng)不同輸出參數(shù)時(shí)的激光脈沖光束的光束質(zhì)量因子M2進(jìn)行了測(cè)量，并對(duì)其光束的空間光強(qiáng)分布進(jìn)行了研究。具體內(nèi)容包括以下幾個(gè)方面： (1)建立了光束質(zhì)量因子M2的自動(dòng)測(cè)量裝置。由于實(shí)驗(yàn)室的飛秒激光系統(tǒng)輸出的飛秒激光束具有能量高，

2、光斑尺寸大，脈沖寬度短的特點(diǎn)，因此采用傳統(tǒng)的直接測(cè)量激光束的光束質(zhì)量的方法是行不通的。實(shí)驗(yàn)采用透鏡變換的方法，借助Labview系統(tǒng)，利用刀口法設(shè)計(jì)了一套實(shí)驗(yàn)裝置，實(shí)現(xiàn)了飛秒激光系統(tǒng)輸出的飛秒激光束兩個(gè)正交方向上的光束質(zhì)量因子M2的自動(dòng)測(cè)量。 (2)實(shí)現(xiàn)了飛秒激光空間光強(qiáng)分布的測(cè)量。為了具體直觀地得到激光束在空間中的分布，本文自行設(shè)計(jì)了兩套飛秒激光束橫截面的測(cè)量裝置。一套是利用CCD和圖像采集卡來捕獲激光束光斑圖像，利用這套CC