基于DSP的MOCVD原位監(jiān)測信號采集系統(tǒng)設計.pdf

1、LED照明作為目前最流行的綠色光源倍受全民關注。LED主原材料是固態(tài)半導體，因而對制備半導體薄膜材料的MOCVD設備的研制是目前形勢所需。MOCVD原位監(jiān)測系統(tǒng)是MOCVD設備中的一個重要組成部分，對外延工程師掌握外延片生長狀況和調整工藝起到指導作用，對薄膜生長的工藝創(chuàng)新意義深遠。
　　本文針對MOCVD原位監(jiān)系統(tǒng)中信號采集部分，選擇嵌入式控制芯片DSP C2000系列為CPU，對原位監(jiān)測信號進行多通道同步采樣，把采集到的信號通過

2、數(shù)字信號處理后經以太網通信方式傳到上位機監(jiān)測軟件供外延工程師分析。該設計把數(shù)字信號處理過程放在了上位機前，很大程度上減少了原始信號數(shù)據流的傳輸量，減輕上位機的負荷。
　　論文闡述了原位監(jiān)測儀信號產生原理和提取信號的處理方法，設計信號源的調理電路，對輸出信號執(zhí)行放大、濾波操作，并設計了旋轉電機同步信號的電壓轉換電路；然后，對DSP的最小系統(tǒng)、A/D轉換芯片AD7656和以太網芯片W5300的外圍電路設計做了詳細的講解；在軟件設計方面

3、，利用DSP集成軟件平臺CCS V4.2，運用C語言編寫DSP主程序和功能程序代碼，其中包括DSP與AD7656和DSP與W5300之間的控制邏輯設計，基于XINTF的DMA無CPU干預的數(shù)據傳輸程序，時域同步平均算法和中值濾波原理，W5300的驅動代碼和網絡數(shù)據傳輸程序設計；最后，利用Delphi XE7對上位機網口通信控件和功能面板的設計。
　　論文最后對以太網數(shù)據通信功能和信號采集功能進行調試和驗證。結果表明，各個模塊功能正