5A06鋁合金微槽道薄板件等溫振動輔助成形技術(shù)研究.pdf

1、近年來，微電子技術(shù)快速發(fā)展，電子元器件更加小型化、高度集成化、高性能、高可靠性，其傳熱及散熱變得更加嚴峻。航空航天和衛(wèi)星裝備正朝大乘載、高可靠、長壽命和輕量化等方向發(fā)展。其同樣需要高性能的冷卻裝置。微槽道薄板件能夠在不過分增加零件尺寸的前提下，顯著增加其表面積，在換熱系統(tǒng)方面得到越來越多的關(guān)注和應用。因其投影面積大（達數(shù)萬平方毫米）、腹板薄（厚度在1mm左右）、微槽道尺寸為微米級等結(jié)構(gòu)特點，目前的主要制造工藝為超精密機械加工工藝、微放電

2、加工工藝、以及 LIGA制造工藝等。這些工藝技術(shù)要么生產(chǎn)效率低、要么選材苛刻、要么成本高昂，難以獲得廣泛的應用。微塑性成形技術(shù)因其具有產(chǎn)品性能高、精度好以及便于實現(xiàn)批量化生產(chǎn)等特點，因此，研究使用微塑性成形技術(shù)制造微槽道薄板件具有重要意義。
　　本文通過微圓柱高溫壓縮實驗和板材高溫拉伸實驗對晶粒大小和應變速率對5A06鋁合金流動應力的影響規(guī)律進行了研究，結(jié)果顯示，材料的流動應力會隨著晶粒尺寸的減小和應變速率的增大而顯示出增大的趨勢

3、，通過表面層模型和多晶體材料細晶強化理論進行了解釋。
　　對微槽道薄板件等溫成形方式進行了模擬，模擬顯示采用反擠壓成形比正擠壓成形能夠有效降低成形力。但當模擬的零件特征尺寸很小時，因模擬軟件不能考慮到因零件尺寸微型化而出現(xiàn)的尺寸效應，導致模擬結(jié)果不準確。
　　通過對坯料進行不同的熱處理、變換沖頭運動模式等進行微槽道薄板件等溫振動輔助成形實驗，系統(tǒng)研究了擠壓方式、成形速度、坯料晶粒尺寸、坯料加工方向以及振動加載對5A06鋁合金