滁州華瑞微電子科技有限公司半導(dǎo)體idm芯片項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告書

1、 目 錄 1 概 述........................................................................................................................................ 1 2 總 則..............................................................

2、.......................................................................... 9 3 建設(shè)項(xiàng)目概況及工程分析...................................................................................................... 29 4 環(huán)境現(xiàn)狀調(diào)查與評(píng)價(jià)...........

3、................................................................................................... 44 5 環(huán)境影響預(yù)測(cè)與評(píng)價(jià).........................................................................................................

4、..... 62 6 環(huán)境保護(hù)措施及其可行性論證............................................................................................ 126 7 環(huán)境影響經(jīng)濟(jì)損益分析.....................................................................................

5、................... 147 8 環(huán)境管理與監(jiān)測(cè)計(jì)劃............................................................................................................ 150 9 環(huán)境影響評(píng)價(jià)結(jié)論與要求.........................................................

6、........................................... 160 2 區(qū)環(huán)境現(xiàn)狀調(diào)查，以及本項(xiàng)目對(duì)環(huán)境影響的預(yù)測(cè)與評(píng)價(jià)，編制出本環(huán)境影響報(bào)告書，呈報(bào)環(huán)境保護(hù)管理部門審批。 1.2 項(xiàng)目特點(diǎn) 項(xiàng)目特點(diǎn) （1）本項(xiàng)目為新建項(xiàng)目，主要從事 6 寸功率器件晶圓的生產(chǎn)。 （2）本項(xiàng)目采用成熟工藝，包括硅片清洗、氧化、退火、光刻、堅(jiān)膜、剝底膜、刻蝕、去膠、摻雜、化學(xué)氣相沉積、物理氣相沉積、合金、減薄等。 （3）本項(xiàng)目

7、產(chǎn)生的廢氣主要為酸性廢氣、堿性廢氣、有機(jī)廢氣等，其中酸性廢氣通過POU+1 套堿液噴淋吸收塔處理；堿性廢氣通過酸液噴淋吸收塔處理；有機(jī)廢氣通過沸石轉(zhuǎn)輪濃縮燃燒系統(tǒng)出來。廢水主要為酸堿廢水、含氟廢水、有機(jī)廢水、研磨廢水、氨氮廢水，進(jìn)行分類收集、分類處理后，達(dá)標(biāo)后排入南譙新區(qū)污水處理廠。 1.3 環(huán)評(píng)工作過程 環(huán)評(píng)工作過程 ◆2020 年 9 月 2 日，我公司受滁州華瑞微電子科技有限公司委托，承擔(dān)《滁州華瑞微電子科技有限公司半導(dǎo)體 IDM

8、 芯片項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告書》的編制工作。 ◆2020 年 9 月 8 日，該項(xiàng)目環(huán)評(píng)第一次公示在網(wǎng)站上發(fā)布。 ◆2020 年 9~10 月，根據(jù)項(xiàng)目單位提供的技術(shù)資料等進(jìn)行工程分析，確定評(píng)價(jià)思路、評(píng)價(jià)重點(diǎn)及各環(huán)境要素評(píng)價(jià)等級(jí)。 ◆2020 年 10 月，委托監(jiān)測(cè)單位對(duì)項(xiàng)目區(qū)進(jìn)行大氣環(huán)境、地表水環(huán)境、地下水環(huán)境、土壤環(huán)境、聲環(huán)境質(zhì)量現(xiàn)狀監(jiān)測(cè)。 ◆2020 年 11 月~2021 年 3 月，項(xiàng)目課題組根據(jù)分工進(jìn)行各專題編寫、匯總，提出污染防