ZnO-NiO異質(zhì)結(jié)構(gòu)薄膜乙醇傳感器設(shè)計(jì)與性能研究.pdf

1、為了能精確的去檢測(cè)乙醇?xì)怏w，我們需要用到性能很高的氣敏器件。隨著材料科學(xué)的不斷進(jìn)步，金屬氧化物的發(fā)展也發(fā)生了巨大的變化，它是當(dāng)前電子科學(xué)界具有非常重要的研究?jī)r(jià)值的敏感材料，其中ZnO由電化學(xué)穩(wěn)定、無(wú)毒而且價(jià)格低廉而成為了金屬半導(dǎo)體氧化物氣體傳感器很有前景的一種敏感材料，但是由于其自身的氣敏特性很低，實(shí)驗(yàn)中我們通常需要對(duì)其進(jìn)行相應(yīng)的的摻雜或者復(fù)合來(lái)提高期氣敏特性。本文通過(guò)查閱相關(guān)大量資料發(fā)現(xiàn)，NiO這種金屬氧化物是一種寬禁帶(4.2eV)

2、P型半導(dǎo)體，與ZnO之間晶格失配低，空穴流動(dòng)性能高，可以同ZnO形成P-N型異質(zhì)結(jié)。本文正是基于該結(jié)構(gòu)，運(yùn)用溶膠凝膠法制備出了ZnO/NiO異質(zhì)結(jié)構(gòu)薄膜，并通過(guò)與ZnO-NiO復(fù)合結(jié)構(gòu)的測(cè)試對(duì)比，對(duì)其進(jìn)行了相應(yīng)的乙醇?xì)饷籼匦缘难芯?。結(jié)果表明:
　　ZnO/NiO異質(zhì)結(jié)構(gòu)樣品靈敏度最大可達(dá)43.2，ZnO-NiO復(fù)合結(jié)構(gòu)靈敏度最大值只有27，雖然復(fù)合結(jié)構(gòu)在適應(yīng)溫度方面較異質(zhì)結(jié)構(gòu)高一點(diǎn)，但是靈敏度過(guò)低。在工作溫度為300℃，測(cè)試氣體濃