1.多層膜光柵的理論分析,制備和檢測;2.tintan多層膜的界面粗糙與硬度的研究

1、中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)碩士學(xué)位論文1.多層膜光柵的理論分析,制備和檢測;2.TiN/TaN多層膜的界面粗糙與硬度的研究姓名：熊剛申請(qǐng)學(xué)位級(jí)別：碩士專業(yè)：凝聚態(tài)物理指導(dǎo)教師：劉文漢;吳自勤19990701P r e f a c aM u l t i l a y e r g r a t i n g s h a v e r e c e i v e d m o r e a t t e n t i o n d u e t o i t sp r o m

2、i s i n ga p p l i c a t i o ni n s o f t x - r a yr e g i o n ．T h et h e o r e t i c a n a l y s i s h a sb e e n g i v e n t o t h e o p t i c a l p r o p e r t i e s o f m u h i l a y e r g r a t i n g s a n d i t sd

3、 i f f r a c t i o ns p e c t r ai s c a c u l a t e d ，w h i c hc a nb er e g a r d e da st h em o d u l a t i o no f m u l t i l a y e r ’s d i f f r a c t i o nt og r a t i n g s ’i n t e r f e r e n c e ．M e a n i n

4、gw h i l e ，w es u 。。。5 8 m l l y p r e p a r e da s e r i e s o fT i N ／T a Nm u l t i l a y e r b l a z i n gg r a t i n g s ，w h o s e s u r f a c et o p o g r a p h y h a s b e e n d e t e c t e d b yA F M ．T h e r e

5、 s e a r c h o n T i N ／T a N m u l t i l a y e r s i s f o c u s e d o n i t sm e c h a n i c a lp r o p e r t i e sa n d p o s s i b l eu s ea so p t i c a le l e m e n t si ns o f tX ．r a vr e g i o n W e f i n d a l

6、l o v e r a l l i n v e r s e r e l a t i o n b e t w e e n t h e i n t e r f a c er o u g h n e s sa n dt h eM i c r oI n d e n t a t i o nH a r d n e s so ft h em u l t i l a v e rf i l m s ．W eb e l i e v et h a tt h

7、er e l a t i o n s h i p r e s u l t s f r o mt h e r e s i d u a l s t r e s s o ft h es y s t e m ，w h i c h i sc a u s e d b y t h ei n t e r f a c er o u g h n e s s ．M u l t i —f r a c t a l t h e o r yi s a p p l i

8、 e dt o a n a l y s i st h er o u g hs u r f a c e o ft h i n f i l m s ．A l o n g w i t h r o o t m e a n s q u a r e ( r m s ) ，i t c a n g i v e ac o m p r e h e n s i v ec h a r a c t e r i z a t i o n t ot h e s u r

9、 f a c er o u g h n e s s ，S Ot h a t c o u I dp r o v i d eu s e f u lc l u e st ot h eg r o w t h o f t h i nf i l m s ．W e d e v e l o pan e wa n ds i m p l ya p p l i c a b l em e t h o do f r e f l e c t i v i t ye