重慶化工職業(yè)學院（?？疲┊厴I(yè)論文

1、重慶化工職業(yè)學院（?？疲┊厴I(yè)論文1年產(chǎn)年產(chǎn)80008000噸多晶硅生產(chǎn)中三氯氫硅生產(chǎn)工噸多晶硅生產(chǎn)中三氯氫硅生產(chǎn)工藝的探討藝的探討摘要多晶硅生產(chǎn)技術是利用二氧化硅和碳粉在熔融狀態(tài)下進行的還原反應，以及在多晶硅生產(chǎn)技術中的各項工藝的探討，包括三氯氫硅的合成、三氯氫硅氫還原制備高純硅。關鍵詞：關鍵詞：三氯氫硅高純硅重慶化工職業(yè)學院（專科）畢業(yè)論文31.引言20世紀50年代，聯(lián)邦德國西門子公司研究開發(fā)出大規(guī)模生產(chǎn)多晶硅的技術，即通常所說的西門

2、子工藝。多晶硅生產(chǎn)的西門子工藝，其原理就是在表面溫度1100℃左右的高純硅芯上用高純氫還原高純含硅反應物，使反應生成的硅沉積在硅芯上。改良西門子方法是在傳統(tǒng)西門子方法的基礎上，具備先進的節(jié)能低耗工藝，可有效回收利用生產(chǎn)過程中大量的SiCl4、HCl、H2等副產(chǎn)物以及大量副產(chǎn)熱能的多晶硅生產(chǎn)工藝。經(jīng)過半個世紀的發(fā)展，多晶硅的制備從生產(chǎn)技術、規(guī)模、質量和成本都達到空前的水平，主要集中在美國、日本、德國三個國家。這三國幾乎壟斷了世界多晶硅市場

3、。多晶硅生產(chǎn)的技術仍在進步發(fā)展，比如現(xiàn)在出現(xiàn)的硅棒對數(shù)達上百對的還原爐，可以使多晶硅的還原能耗降低到一個新的水平。（還原）多晶硅是由硅純度較低的冶金級硅提煉而來，由于各多晶硅生產(chǎn)工廠所用主輔原料不盡相同，因此生產(chǎn)工藝技術不同；進而對應的多晶硅產(chǎn)品技術經(jīng)濟指標、產(chǎn)品質量指標、用途、產(chǎn)品檢測方法、過程安全等方面也存在差異，各有技術特點和技術秘密，總的來說，目前國際上多晶硅生產(chǎn)主要的傳統(tǒng)工藝有：改良西門子法、硅烷法和流化床法。改良西門子法是目