TS2100超聲鍵合機(jī)換能系統(tǒng)俯仰振動實(shí)驗(yàn)研究.pdf

1、本文以TS2100超聲鍵合機(jī)換能系統(tǒng)為主要研究對象，以阻抗分析儀和激光多普勒測速儀為測量儀器，針對換能系統(tǒng)劈刀和肋環(huán)夾持等因素的影響，對換能系統(tǒng)進(jìn)行了較為系統(tǒng)的研究，包括換能系統(tǒng)電學(xué)導(dǎo)納特性，換能系統(tǒng)俯仰方向的低頻振動特性等；并對超聲鍵合過程中鍵合壓力及諧振頻率等特性進(jìn)行了研究。主要內(nèi)容如下： (1)討論了換能系統(tǒng)電學(xué)導(dǎo)納圓圖，利用實(shí)測導(dǎo)納圓計(jì)算等效電路各特征參數(shù)。使用以阻抗分析儀為基礎(chǔ)的超聲鍵合換能系統(tǒng)電學(xué)導(dǎo)納特性測量系統(tǒng)，測

2、得換能系統(tǒng)自由狀態(tài)無劈刀時20kHz～100kHz范圍內(nèi)的四個共振頻率。 (2)利用阻抗分析儀對換能系統(tǒng)有無劈刀情況和肋環(huán)夾持等不同狀態(tài)下的電學(xué)導(dǎo)納進(jìn)行了測量，以此為基礎(chǔ)分析換能系統(tǒng)的電學(xué)導(dǎo)納特性。比較測得的有無劈刀狀態(tài)下?lián)Q能系統(tǒng)的等效電路參數(shù)，分析劈刀對整個換能系統(tǒng)的影響情況；比較肋環(huán)夾持不同松緊度狀態(tài)下?lián)Q能系統(tǒng)的等效電路參數(shù)，分析肋環(huán)夾持對整個換能系統(tǒng)的影響情況。 (3)搭建了相應(yīng)的實(shí)驗(yàn)測量系統(tǒng)，選擇敲擊方式激勵換能

3、系統(tǒng)，產(chǎn)生俯仰振動，用激光多普勒測速儀采集換能系統(tǒng)末端底部的速度信號，對速度信號進(jìn)行統(tǒng)計(jì)功率譜分析，分析有無劈刀情況和肋環(huán)夾持不同狀態(tài)下?lián)Q能系統(tǒng)俯仰方向的振動特性。 (4)對超聲鍵合過程中鍵合壓力等特性進(jìn)行了研究，利用以壓力傳感器和激光多普勒測速儀為基礎(chǔ)的測試系統(tǒng)，測量了不同鍵合壓力下?lián)Q能系統(tǒng)末端的壓力響應(yīng)和速度響應(yīng)。利用壓力傳感器輸出壓力響應(yīng)信號，得到壓力響應(yīng)曲線的頻譜圖，實(shí)驗(yàn)分析鍵合壓力參數(shù)對超聲功率參數(shù)的匹配，對今后超聲鍵