基于PSD的微距測(cè)量系統(tǒng)研究.pdf

1、隨著激光技術(shù)、精密機(jī)械技術(shù)、電子技術(shù)和計(jì)算機(jī)技術(shù)的突飛猛進(jìn)，激光微距測(cè)量逐漸向高速度、高精度、多功能、多參數(shù)、小尺寸的方向發(fā)展，它將在機(jī)器視覺(jué)、自動(dòng)加工、工業(yè)在線檢測(cè)、產(chǎn)品質(zhì)量控制、實(shí)物仿形、生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域具有重要的意義和廣闊的應(yīng)用前景，將對(duì)提高生產(chǎn)效率、以及現(xiàn)代化生產(chǎn)水平起到巨大的作用。本文設(shè)計(jì)的系統(tǒng)應(yīng)用于測(cè)量槍筒內(nèi)振動(dòng)面的位移。 本文首先介紹了國(guó)內(nèi)外當(dāng)前對(duì)激光微距測(cè)量的發(fā)展?fàn)顩r，比較了各種測(cè)距方法的優(yōu)缺點(diǎn)，確定激光三角法測(cè)距

2、作為本文系統(tǒng)設(shè)計(jì)的基礎(chǔ)。然后詳細(xì)地論述了PSD微距測(cè)量系統(tǒng)的總體設(shè)計(jì)過(guò)程。 PSD作為一種光電效應(yīng)器件，由于其高速度、高分辨率、信號(hào)處理簡(jiǎn)單等優(yōu)點(diǎn)，使用非常廣泛，本文選用了一維梳狀PSD作為系統(tǒng)的探測(cè)器，并介紹了PSD的工作原理，在此基礎(chǔ)上利用Multisim對(duì)一維梳狀PSD的線性度及引起PSD探測(cè)誤差進(jìn)行了分析。 本文給出了光學(xué)系統(tǒng)的總體設(shè)計(jì)，在傳統(tǒng)光學(xué)三角法測(cè)量系統(tǒng)上作了改進(jìn)，光源方面使用半導(dǎo)體激光器與光纖耦合的方式