高速精密氣浮定位平臺(tái)設(shè)計(jì)方法.pdf

1、本文提出了一種面向IC封裝的高速精密氣浮定位平臺(tái)。深入研究了以小孔節(jié)流靜壓氣浮導(dǎo)軌支承高速精密定位平臺(tái)的靜態(tài)特性和設(shè)計(jì)方法。本文主要研究?jī)?nèi)容和研究成果可以概括為以下幾個(gè)方面： ◇根據(jù)流體力學(xué)連續(xù)性方程和運(yùn)動(dòng)方程，研究了小孔節(jié)流靜壓氣浮導(dǎo)軌的特性，分析了小孔節(jié)流器孔徑和氣膜厚度與靜壓氣浮導(dǎo)軌承載能力、剛度和耗氣量的內(nèi)在關(guān)系，給出了靜壓氣浮導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)方法。 ◇通過(guò)模擬仿真給出了靜壓氣浮導(dǎo)軌的一組優(yōu)化參數(shù)，并校核了所設(shè)計(jì)的高

2、速精密氣浮平臺(tái)的靜態(tài)性能。 ◇提出了一種基于音圈電機(jī)直接驅(qū)動(dòng)，靜壓氣浮導(dǎo)軌支承，靜壓氣浮解耦的高速精密定位平臺(tái)。該方案應(yīng)用了音圈電機(jī)直接驅(qū)動(dòng)，消除了現(xiàn)有精密定位平臺(tái)常用的伺服電機(jī)-滾動(dòng)絲杠-螺母機(jī)構(gòu)形式存在返程間隙和摩擦的問(wèn)題；應(yīng)用了靜壓氣浮導(dǎo)軌支承，消除了滾動(dòng)導(dǎo)軌支承存在摩擦的問(wèn)題；應(yīng)用氣浮解耦機(jī)構(gòu)將驅(qū)動(dòng)電機(jī)布置在基座上，減小了運(yùn)動(dòng)慣量。這些措施為高速精密定位平臺(tái)性能的提高提供了可能。 ◇設(shè)計(jì)和繪制了高速精密氣浮定位平