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文檔簡介
1、該工作以直流反應磁控濺射方法作為制備手段,選擇Ti為靶材,以N<,2>,O<,2>兩種氣體為反應氣體,反應磁控濺射制備折射率漸變的TiNxOy多層陶瓷薄膜,使之具有較好的光譜選擇性吸收特性和裝飾效果,可應用于平板型太陽能熱水器的吸熱表面并直接作為光熱轉換建筑材料.通過大量的實驗和分析,對影響工藝和薄膜質量的因素進行了歸納,獲得了比較穩(wěn)定的濺射條件和操作工藝,工藝重復性很好.通過透射電子顯微鏡(TEM),掃描電子顯微鏡(SEM),x射線光
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