版權(quán)說(shuō)明:本文檔由用戶提供并上傳,收益歸屬內(nèi)容提供方,若內(nèi)容存在侵權(quán),請(qǐng)進(jìn)行舉報(bào)或認(rèn)領(lǐng)
文檔簡(jiǎn)介
1、廈門大學(xué)碩士學(xué)位論文電容式壓力微傳感器及其無(wú)線測(cè)量系統(tǒng)姓名:許金海申請(qǐng)學(xué)位級(jí)別:碩士專業(yè):測(cè)試計(jì)量技術(shù)及儀器指導(dǎo)教師:馮勇建胡國(guó)清2001.5.20l廈門大學(xué)碩士論文摘要Capacitivepressuremicrosensoranditswirel髂smeasurementsystemApplicant:XuJinhaiSupervisor:DrFerIgYongjianDrHuGuoqingAbstract:Thetouchmode
2、capacitivepressuresensornotonlyhashighsensitivityandmanymeritsthatotherformsofcapacitivepressuresensorshave,butalsohasgoodsegmentlinearitybetweentheloadpressureandtheoutputcapacitorwithintherangeofoperationComparedwithot
3、hercapacitivepressuresensorswhosestructureormeasurementcircuithastobechangedinordertoimprovetheirlincaritytouchmodecapacitivesensorhasthemeritsofsimplestructure,excellentperformanceandstrongabilityofoverloadandantiinterf
4、eringHowtoimpmvethesensitivityofthemeasurementcircuitandlinearityofthesensorwithinitsfullscalewillinfluencetheperformanceofthesensorinrespectthatthediscriminableoutputcapacitanceofmicrosensorsismuchlessthan1PEThedevelopi
5、ngofthetechnologyofMEMS(MicroElectroMechanicalSystem)andIC(IntegratedCircuit)andcomputermakeitpossibletointegratethesemiconductorpressuresensorwithitsmeasurementcircuitandthenonlinearitycompensationcircuit,whichwillbethe
6、tendencyofthedevelopingofsensorsThetendencyoftheminisizaofsensorsandthedevelopmentofinformationtechnologyatthesametime,someapplicationinspecialcircumstanceneedsmicrosensorsthathavetheabilityofremotemeasurement,especially
7、underthecoarseandhermeticcircumstanceThedevelopingofMEMS,ICandITestablishthebaseofwirelessmeasurementofsensorsNowadaystherearesomereportsoilMEMSintegratedsystems,wirelessMEMStechnologyandMEMSwirelesssystemsbasedonmicrosa
8、nsorsinthereferencesoflEEEbutthereareafewrelativereportsontheindustrializationofthemReportsonthewirelessmeasurementsystemsusingthetouchmodecapacitivepressureSensorsastheirsignalsourcesarenotpresentedallovertheworldinclud
9、ingChinayetTheresearchinthisthesisiscontentedasfoIlows:IThemodeloftouchmodecapacitivepressuresensorhasbeenanalyzedandabndofsmallcapacitancemeasurementcircuitwithnonlinearitycompensationconstructedbyintegratecircuitsandth
10、ewirelesscommunicationsystemofthecapacitivesensorarepresented2BasedoRthecharacteristicofsegmentlinearityofthesensorthedesignofthemeasurementcircuitconstructedbyintegratecircuittakesthemultiplier(MCl596)asitscoretakinguse
11、ofitsphasedetectcharacteristicThecircuithasgoodlinearity(nonlinearity342呦andhighsensitivity(28mVtpF)andthesmallcapacitanceismeasuredThemeasurementofthesegmentlinearityofthescnsorcanbeachievedthrotlgllchangingthestructure
溫馨提示
- 1. 本站所有資源如無(wú)特殊說(shuō)明,都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請(qǐng)下載最新的WinRAR軟件解壓。
- 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等,如果需要附件,請(qǐng)聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
- 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙,網(wǎng)頁(yè)內(nèi)容里面會(huì)有圖紙預(yù)覽,若沒(méi)有圖紙預(yù)覽就沒(méi)有圖紙。
- 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
- 5. 眾賞文庫(kù)僅提供信息存儲(chǔ)空間,僅對(duì)用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護(hù)處理,對(duì)用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯,并不能對(duì)任何下載內(nèi)容負(fù)責(zé)。
- 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當(dāng)內(nèi)容,請(qǐng)與我們聯(lián)系,我們立即糾正。
- 7. 本站不保證下載資源的準(zhǔn)確性、安全性和完整性, 同時(shí)也不承擔(dān)用戶因使用這些下載資源對(duì)自己和他人造成任何形式的傷害或損失。
最新文檔
- 電容式接近傳感器
- 電容式觸摸傳感器
- 電容式液位傳感器系統(tǒng)
- 4.電容式傳感器
- 低壓陶瓷電容式壓力傳感器的研究.pdf
- 單片集成MEMS電容式壓力傳感器研究.pdf
- 基于有源電橋的電容式傳感器及其測(cè)量系統(tǒng)的研究.pdf
- 傳感器課程設(shè)計(jì)-- 電容式傳感器
- 電容式位移傳感器研究.pdf
- 微傳感器中開(kāi)關(guān)電容式濾波器設(shè)計(jì).pdf
- 外文翻譯--電容式傳感器
- 《電容式傳感器》doc版
- 電容式壓力傳感器檢測(cè)電路設(shè)計(jì).pdf
- 電容式柔性壓力傳感器性能影響因素研究.pdf
- 電容式傳感器的位移特性
- 用電容式位移傳感器測(cè)量鋼軌溫度應(yīng)力.pdf
- 外文翻譯--遠(yuǎn)程接地電容式傳感器液位測(cè)量系統(tǒng)
- 實(shí)驗(yàn)三 電容式傳感器實(shí)驗(yàn)
- 第3章電容式傳感器
- 外文翻譯--遠(yuǎn)程接地電容式傳感器液位測(cè)量系統(tǒng)
評(píng)論
0/150
提交評(píng)論