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文檔簡(jiǎn)介
1、作為半導(dǎo)體芯片和TFT-LCD生產(chǎn)過(guò)程中的關(guān)鍵材料,5N~6N超高純鋁靶材在當(dāng)今高新技術(shù)中起著不可估量的作用。高純鋁靶材的好壞直接決定著生產(chǎn)出來(lái)的半導(dǎo)體芯片以及TFT-LCD的質(zhì)量。衡量高純鋁靶材優(yōu)劣的指標(biāo)除了高純鋁靶材的純度,還要求其具有細(xì)小的晶粒。本文通過(guò)研究多向鍛造加軋制細(xì)化高純鋁工藝特點(diǎn),揭示高純鋁變形過(guò)程中的組織演變規(guī)律,為細(xì)晶高純鋁靶材的生產(chǎn)提供技術(shù)支持。另外,工業(yè)純鋁在國(guó)民經(jīng)濟(jì)各個(gè)部門(mén)的用途日益拓寬,本文研究了大塑性變形對(duì)
2、工業(yè)純鋁組織性能的影響,首先對(duì)工業(yè)純鋁進(jìn)行了DEFORM多向鍛造的模擬,然后進(jìn)行多向鍛造及軋制的實(shí)驗(yàn),也取得了良好的效果。
實(shí)驗(yàn)主要包括三個(gè)部分:(1)研究多向鍛造和軋制工藝對(duì)高純鋁變形組織的影響,并對(duì)變形后的試樣進(jìn)行熱處理,通過(guò)宏觀組織、微觀組織和硬度的分析,選擇最佳的鍛造、軋制和熱處理工藝。(2)利用DEFORM模擬不同鍛造溫度、不同多向鍛造道次、熱鍛時(shí)不同的回爐加熱制度下工業(yè)純鋁的多向鍛造,對(duì)網(wǎng)格破壞、溫度場(chǎng)、等效應(yīng)力等
3、進(jìn)行了分析。(3)在模擬的基礎(chǔ)上,考察了多向鍛造和軋制工藝對(duì)工業(yè)純鋁變形組織的影響,對(duì)軋后試樣進(jìn)行不同溫度的退火處理,研究了變形后試樣的再結(jié)晶過(guò)程。
實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明:(1)高純鋁多向鍛時(shí),將試樣加熱到260℃-350℃之間,進(jìn)行12道次的鍛造,鍛造時(shí)將末道次溫度控制在65℃附近,可以獲得較理想的組織。(2)高純鋁試樣多向鍛造后,進(jìn)行道次壓下率為10%、道次間水冷的室溫軋制,再對(duì)軋后試樣進(jìn)行200℃保溫2h的退火,可獲得組織均勻、
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