基于巨磁電阻效應(yīng)的角度傳感器研究.pdf

1、隨著工業(yè)技術(shù)的發(fā)展,航空、機(jī)械、汽車、自動(dòng)化等各個(gè)行業(yè)對傳感器的需求越來越大,對其精度、功耗、可靠性、微型化、集成化、智能化等要求也越來越高。開發(fā)新型原理和結(jié)構(gòu)的傳感器備受關(guān)注。而巨磁電阻效應(yīng)的發(fā)現(xiàn)為傳感器領(lǐng)域帶來了新活力。巨磁電阻效應(yīng)是指材料的電阻率隨外界磁場變化而顯著變化的現(xiàn)象。利用巨磁電阻效應(yīng)設(shè)計(jì)制作的傳感器具有靈敏度高、功耗低、體積小、穩(wěn)定性好及非接觸式測量等優(yōu)點(diǎn),開發(fā)巨磁電阻傳感器已經(jīng)成為國內(nèi)外的研究熱點(diǎn)。
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2、題研究內(nèi)容是基于巨磁電阻效應(yīng)的角度傳感器的設(shè)計(jì)與實(shí)現(xiàn)。自旋閥巨磁電阻材料是眾多巨磁電阻材料的一種,它對弱磁場敏感,而且在飽和磁場范圍.內(nèi)其電阻率只與磁場方向有關(guān),而幾乎與磁場強(qiáng)度無關(guān)。這一特性非常適合測量角度變化,因此可以根據(jù)這一效應(yīng)設(shè)計(jì)制作角度傳感器。
　　 論文首先介紹了巨磁電阻效應(yīng)的原理、應(yīng)用、發(fā)展現(xiàn)狀,以及自旋閥巨磁電阻感測角度的原理,研究了自旋閥巨磁電阻多層膜的性質(zhì),并設(shè)計(jì)了自旋閥巨磁電阻敏感元件結(jié)構(gòu)。