CMOS圖像傳感器的失效分析及工藝改進.pdf

1、自上個世紀60年代圖像傳感器問世以來，圖像傳感器便得到了廣泛的應用，比如數(shù)碼相機，安防及監(jiān)控設備，手機，視頻攝像機，醫(yī)療系統(tǒng)，機器視覺，傳感器，電腦攝像頭，游戲設備等都離不開圖像傳感器，可以說圖像傳感器已經(jīng)深入的滲透到我們生活的每個角落。CMOS（互補金屬氧化物半導體）圖像傳感器與CCD（電荷耦合器件）圖像傳感器的研究幾乎是同時起步，但由于受當時半導體制造工藝水平的限制， CMOS圖像傳感器圖像質(zhì)量差、分辨率低、噪聲高和光照靈敏度不夠，

2、因而沒有得到重視和發(fā)展。上世紀90年代初，隨著大規(guī)模集成電路設計技術(shù)和工藝制造水平的不斷提高，CMOS圖像傳感器過去存在的缺點現(xiàn)在都可以找到辦法克服，而且它固有的優(yōu)點更是CCD器件所無法比擬的，因而它再次成為研究的熱點。
　　本文首先對CMOS圖像傳感器的發(fā)展歷史、工作原理、應用、工藝特點及發(fā)展趨勢進行了研究，并對半導體芯片產(chǎn)業(yè)中用到的先進失效分析技術(shù)手段、方法的原理和應用進行了綜述，如光學顯微鏡、掃描電子顯微鏡、透射電子顯微鏡、