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1、天津理工大學(xué)碩士學(xué)位論文Sn、Cr摻雜In2O3薄膜的制備及光敏性質(zhì)研究姓名:吳一晨申請學(xué)位級別:碩士專業(yè):材料學(xué)指導(dǎo)教師:劉技文;安玉凱201201薄膜的載流子濃度、遷移率、電阻率影響較小。薄膜致密度越差、表面粗糙度越高,對紫外光的靈敏度越高,響應(yīng)時間越長。襯底溫度同為600℃時,氧流量為O4sccm,Sn、Cr共摻的In203薄膜較單摻Sn對紫外光的靈敏度高出157%,而響應(yīng)時間長出413s。關(guān)鍵詞:h1203Sn摻雜Sn、Cr共摻
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