非球面精密磨削拋光誤差補償技術研究.pdf

1、相較于球面光學元件，非球面光學元件在成像質量方面有著無可比擬的優(yōu)勢，應用于光學系統(tǒng)中可在很大程度上矯正各種像差、改善成像質量、提升系統(tǒng)鑒別能力、優(yōu)化系統(tǒng)結構等。近年來，伴隨著高精尖產(chǎn)品及技術的迫切需要，非球面光學元件的需求也正與日俱增，有著十分廣闊的市場前景，但同時也對其加工與檢測精度提出了更高的要求與更加嚴格的標準。非球面精密磨削與拋光涉及計算機控制、工具、材料和檢測等技術，是先進加工技術的集中體現(xiàn)，但如何實現(xiàn)其高效高質量加工依然是各

2、國研究的重點與難點。
　　本課題基于非球面加工難度大、加工效率低等問題，在現(xiàn)有基礎上對其進行了精密磨削與拋光相關工藝研究，通過對比試驗對其工藝流程的優(yōu)化進行了探究。其次，對磨削過程中產(chǎn)生的誤差進行了分析與研究，如砂輪磨損與對刀誤差，基于計算機視覺技術對其誤差量進行了定量研究與補償。與此同時，更是基于軸對稱非球面特性分別提出了非球面三維重構技術與數(shù)控插值技術。非球面三維重構技術基于數(shù)控技術與圖像采集、處理模塊進行了非球面光學元件全角