基于單片機的擴散爐多路高精度溫度控制系統的設計.pdf_第1頁
已閱讀1頁，還剩73頁未讀， 繼續(xù)免費閱讀

下載本文檔

版權說明：本文檔由用戶提供并上傳，收益歸屬內容提供方，若內容存在侵權，請進行舉報或認領

文檔簡介

1、擴散爐是電子元件生產的重要工藝設備，它適用于晶體管、晶閘管、固體集成電路等半導體器件制造過程。在擴散爐工藝參數中，溫度具有決定性的影響，溫度控制精度不僅直接影響著產品質量，也影響著擴散爐本身的效能。
　　 本文針對傳統的控制系統的溫度控制精度、生產工藝控制能力等較低的現狀，設計了擴散爐溫度控制系統，實現高精度檢測并控制多路溫度值，達到將擴散爐溫度控制在要求范圍內的目的。本設計由CPU、加熱控制以及檢測部分構成對被控對象擴散爐體的

2、閉環(huán)控制系統，并且通過無線與上位機進行通信。系統以83C552單片機作為核心，檢測部分采用三路熱電偶對擴散爐內三處位置進行溫度檢測，并采用熱電阻作為冷端溫度補償，對熱電阻測溫的非線性問題進行了分析，通過計算消除了熱電阻的非線性問題，并采用多模型自適應控制對溫度進行分段PID控制，并在MATLAB下對算法進行了仿真測試，給出了算法的軟件實現。系統通過多路開關將幾路測量信號分時的傳輸給放大器以及A/D轉換，CPU讀取A/D轉換結果與設定值進

溫馨提示

  • 1. 本站所有資源如無特殊說明，都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
  • 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等，如果需要附件，請聯系上傳者。文件的所有權益歸上傳用戶所有。
  • 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙，網頁內容里面會有圖紙預覽，若沒有圖紙預覽就沒有圖紙。
  • 4. 未經權益所有人同意不得將文件中的內容挪作商業(yè)或盈利用途。
  • 5. 眾賞文庫僅提供信息存儲空間，僅對用戶上傳內容的表現方式做保護處理，對用戶上傳分享的文檔內容本身不做任何修改或編輯，并不能對任何下載內容負責。
  • 6. 下載文件中如有侵權或不適當內容，請與我們聯系，我們立即糾正。
  • 7. 本站不保證下載資源的準確性、安全性和完整性, 同時也不承擔用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。

評論

0/150

提交評論