觸針輪廓儀傳感器校準及誤差補償.pdf

1、隨著先進制造技術(shù)的發(fā)展，特別是表面加工技術(shù)的不斷提高，大量具有高精度表面的機械零件不斷出現(xiàn)，對零件進行高精度、大范圍輪廓測量的需求也越發(fā)迫切。觸針式輪廓儀憑借測量范圍大、穩(wěn)定性高、對環(huán)境要求低等諸多優(yōu)點在表面輪廓測量領(lǐng)域被廣泛使用。研究表明，觸針式輪廓儀的測量精度主要受到傳感器非線性誤差、針尖磨損、導軌誤差等因素影響，本文圍繞傳感器的校準和誤差補償展開研究，主要工作如下：
　　1）對觸針式輪廓儀傳感器非線性誤差及校準方法進行研究，

2、以標準球為標準件在輪廓儀上實施測量，利用最小二乘法將得到的測量輪廓向真實輪廓修正，得到傳感器的校準函數(shù)，實現(xiàn)對觸針輪廓儀傳感器的校準。
　　2）對針尖磨損給輪廓測量帶來的影響進行分析，研究了針心軌跡、針尖輪廓、被測輪廓三者之間的關(guān)系，并在此基礎(chǔ)上研究了針尖截面輪廓不為圓情況下被測輪廓重建算法；最后研究了針尖輪廓重建算法。這兩個算法完整解決了針尖磨損后被測輪廓的重建問題。
　　3）對導軌直線度誤差和安裝誤差對輪廓測量帶來的影響