微細超聲波加工中工具橫向振動研究.pdf

1、隨著微機電產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展，微型部件在各個行業(yè)得到廣泛的應(yīng)用，它們的制作都離不開微細加工技術(shù)。其中，微細超聲波加工技術(shù)就是一種獨具特色的特種加工技術(shù)，特別適用于在不導(dǎo)電的脆硬性材料上加工。其主要依靠工件或工具的超聲頻振動帶動加工液中的磨粒運動，進而沖擊工件，使材料去除。
　　在超聲加工過程中，磨粒在持續(xù)捶擊工件的同時，也會同樣的高頻沖擊工具底面，進而可能使得工具產(chǎn)生橫向振動或彎曲變形，影響加工精度。加工精度的高低是衡量某種加工方法優(yōu)

2、劣的重要指標，就目前超聲波加工的精度來說，還存在進一步提高的必要。以往關(guān)于這方面的研究，多集中在探究加工參數(shù)及機床設(shè)備對加工精度的影響，較少有人從工具橫向振動或變形角度考慮。
　　為了提高微細超聲波加工中的加工精度，本文分別從工具橫向振動、加工參數(shù)、機床設(shè)備、工具制備幾個方面進行了探究。首先分析了工具在加工過程中的受力狀態(tài)，并基于材料力學理論與非線性振動理論判別了工具發(fā)生失穩(wěn)變形或參數(shù)共振的條件，得出在常用的加工參數(shù)條件下，工具發(fā)

3、生的是橫向的自由振動。然后，推導(dǎo)了工具橫向振動的動力學方程并采用數(shù)值求解，最終得到了可以計算加工過程中工具末端橫向振動振幅的理論模型。
　　該模型可以根據(jù)已知加工條件和工具尺寸進而計算出加工孔的理論孔徑值，或者在已知加工條件和目標孔徑條件下計算出所需采用的工具尺寸。研究中共設(shè)計了40組實驗驗證該模型在不同加工條件下預(yù)測孔徑的準確性及其實際應(yīng)用的可行性。其中，40組實驗中理論孔徑值與實測孔徑值的相對誤差小于2%的有37組。充分說明了